PFAとは正式名称パーフルオロアルコキシアルカンで四フッ化エチレン(C2F4)とパーフルオロアルコキシエチレンとの共重合体で、パーフルオロ樹脂として優れた化学的・電気的・機械的特性及び低摩擦性を持っています。
PTFAに匹敵する特長を有しており、耐熱性、耐薬品性、非粘着性、不燃性、電気特性に優れています。またPFAフィルムは低温下でも耐薬品性に優れ幅広い温度範囲で強靭さと柔軟さを保ちます。近年は半導体製造装置分野で用途が拡大してきており、イオン溶出レベルを低減したグレードが主流となってきています。